Thông tin sản phẩm

Van cổng MKS Instruments

R Series Van cổng 
Roughing Bơm cách ly cho bán dẫn Sub-Fab và ứng dụng chân không chung

Van cổng MKS R Series được tối ưu hóa để cô lập các máy bơm gia công thô và các đường gia công thô trong cả hai ứng dụng bán dẫn và chân không chung. Dòng R có sẵn với một loạt các tùy chọn, bao gồm thiết bị truyền động bằng khí nén và bằng tay, khóa khả năng gắn thẻ, và bỏ qua máy bơm mềm để loại bỏ nhiễu loạn và tạo hạt liên quan trong quá trình bơm từ khí quyển. R Series sử dụng một con dấu trục đàn hồi cho con dấu thiết bị truyền động, cho phép hiệu suất cao trong một gói giá trị hiệu quả cao, chi phí cho các ứng dụng chân không gia công thô. Phiên bản thép không gỉ của van R Series Gate có sẵn trong các kích thước DN80, DN100 và DN160.

Các tính năng và lợi ích:

  • Chi phí hiệu quả và giá trị cao
  • Cho phép máy bơm thô hoạt động trong thời gian bảo trì
  • Soft-Pump Bypass Options: 
    Cho phép bơm từ từ xuống từ bầu khí quyển 
    Loại bỏ nhiễu loạn và tạo hạt liên kết trong quá trình bơm xuống
  • Tùy chọn nóng hiệu suất cao: Đồng 
    nhất nhiệt độ tuyệt vời đảm bảo không có các điểm lạnh trên bề mặt bên trong Ngăn chặn sự ngưng tụ của nước thải và khí ăn mòn
  • Vòng đời dài 
    DN80 & DN100> 200.000 chu kỳ 
    DN160> 100.000 chu kỳ
  • Phiên bản bằng thép không gỉ và nhôm
  • Có sẵn trong các kích thước DN80, DN100, DN160mm
SẢN PHẨM CÙNG DANH MỤC