R Series Van cổng
Roughing Bơm cách ly cho bán dẫn Sub-Fab và ứng dụng chân không chung
Van cổng MKS R Series được tối ưu hóa để cô lập các máy bơm gia công thô và các đường gia công thô trong cả hai ứng dụng bán dẫn và chân không chung. Dòng R có sẵn với một loạt các tùy chọn, bao gồm thiết bị truyền động bằng khí nén và bằng tay, khóa khả năng gắn thẻ, và bỏ qua máy bơm mềm để loại bỏ nhiễu loạn và tạo hạt liên quan trong quá trình bơm từ khí quyển. R Series sử dụng một con dấu trục đàn hồi cho con dấu thiết bị truyền động, cho phép hiệu suất cao trong một gói giá trị hiệu quả cao, chi phí cho các ứng dụng chân không gia công thô. Phiên bản thép không gỉ của van R Series Gate có sẵn trong các kích thước DN80, DN100 và DN160.