Bộ điều khiển tỷ lệ dòng chảy

Tối ưu hóa hiệu suất quy trình trở nên dễ dàng hơn với Bộ điều khiển tỷ lệ dòng chảy DELTA ™ (FRC). Sử dụng rộng rãi trong một loạt các ứng dụng dòng chảy tách như khắc, tước, và PECVD, DELTA ™ khiển Ratio Flow (FRC) cung cấp cho người dùng với khả năng phân phối khí hoặc khí hỗn hợp với các vùng khác nhau trong một buồng quá trình. Gửi DELTA ™ khiển Ratio Flow (FRC) một khí - hoặc hỗn hợp bất kỳ - và một điểm tỷ lệ thiết lập và DELTA ™ khiển Ratio Flow (FRC) sẽ chia khí vào kênh đầu ra riêng biệt tự động.