Bộ điều khiển lưu lượng và nhiệt lượng dựa trên áp suất và nhiệt dựa trên Bộ điều khiển lưu
lượng và khối lượng lưu lượng kế từ MKS Instruments
Bộ điều khiển lưu lượng và bộ đo lưu lượng nhiệt G-Series với hiệu suất nhanh và lặp lại
Bộ điều khiển lưu lượng hàng loạt G-Series là bộ điều khiển lưu lượng hàng loạt hiệu quả, chi phí cao phù hợp cho hầu hết các ngành công nghiệp và ứng dụng.
Các tính năng phổ biến:
- Elastomer & Metal kín MFC / MFM; Chiều rộng 1,5 inch (38,1 mm)
- Tốc độ dòng chảy MFC toàn diện từ 5 sccm đến 250 slm
- Multi-gas / đa phạm vi MFC; 1% độ chính xác điểm đặt
- I / O kỹ thuật số và analog
Xem tất cả Bộ điều khiển lưu lượng / G-Series Mass Flow ở đây
Bộ điều khiển lưu lượng và nhiệt lượng dòng I-Series IP66
Bộ điều khiển lưu lượng lớn I-Series được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng bộ điều khiển lưu lượng trong môi trường khắc nghiệt để bảo vệ chống lại nước và bụi. Việc bao vây IP66-rated cho bộ điều khiển I-Dòng Thánh lễ Dòng bảo vệ nó khỏi phun nước trực tiếp (ví dụ, vòi xuống trong các ứng dụng bioreactor) cũng như bụi.
Các tính năng phổ biến:
- Elastomer và kim loại niêm phong MFC / MFM; Chiều rộng 1,5 inch (38,1 mm)
- Tốc độ dòng chảy MFC toàn diện từ 5 sccm đến 1000 slm
- Multi-gas / đa phạm vi MFC; 1% độ chính xác điểm đặt
- Vỏ chống bụi và chống nước cho môi trường khắc nghiệt
- I / O kỹ thuật số và analog
Xem tất cả các bộ điều khiển lưu lượng và khối lượng I-Series ở đây
Bộ điều khiển lưu lượng nhiệt đa cấp, đa năng, hiệu suất cao P-Series
P-Series, bộ điều khiển lưu lượng lớn hiệu suất cao được thiết kế cho các ứng dụng quy trình quan trọng nhất mà độ chính xác, độ lặp lại cũng như độ nhạy áp lực là các yêu cầu.
Các tính năng phổ biến:
- MFC / MFM đóng kín bằng kim loại; Chiều rộng 1,125 inch (28,6 mm)
- Tốc độ dòng chảy MFC toàn diện từ 5 sccm đến 250 slm
- Multi-gas / đa phạm vi MFC với tùy chọn áp lực không nhạy cảm; 1% độ chính xác điểm đặt
- Tùy chọn áp lực không nhạy cảm
- I / O kỹ thuật số & analog
Xem tất cả bộ điều khiển lưu lượng Mass Multi-gas đa cấp, P-Series ở đây
Thiết bị đo lưu lượng và lưu lượng lớn lưu lượng cao
MKS cung cấp cả bộ điều khiển lưu lượng khối kín và kim loại cho lưu lượng lên tới 300 m. Các phiên bản có sẵn cho môi trường tiêu chuẩn và khắc nghiệt khi cần bảo vệ khỏi nước và bụi.
Các tính năng phổ biến:
- Elastomer & kim loại kín MFC / MFM
- Tốc độ dòng chảy MFC tăng từ 50 đến 300 slm
- Multi-range / multi-gas MFC; 1% độ chính xác điểm đặt
- I / O kỹ thuật số và analog
Xem tất cả các bộ điều khiển lưu lượng và lưu lượng dòng chảy tốc độ cao tại đây
Bộ điều khiển lưu lượng nhỏ gọn, mục đích chung
Kích thước nhỏ gọn của MF1 (cao hơn 4 inch, dài 3 inch, rộng 1 inch) cung cấp một tùy chọn khi không gian có sẵn bị hạn chế như trong nhiều ứng dụng phân tích và phún xạ. Trong khi tầm vóc nhỏ, MF1 đàn hồi kín có độ chính xác và độ lặp lại tuyệt vời.
Các tính năng phổ biến:
- Tấm lót niêm phong
- Tốc độ dòng chảy toàn diện từ 10 sccm đến 20 slm
- Đa khí / đa phạm vi MFC
- I / O kỹ thuật số và analog
Tìm hiểu thêm về MF1 Mass Flow Controllers & Meters tại đây
Bộ điều khiển lưu lượng Mass & Thermal dựa trên áp lực cho các ứng dụng đặc biệt
Một số hơi và khí quá trình nhất định đòi hỏi bộ điều khiển lưu lượng khối của một thiết kế đặc biệt riêng cho vật liệu cũng như điều kiện xử lý. MKS cung cấp cả bộ điều khiển lưu lượng nhiệt và bộ điều khiển lưu lượng dựa trên áp lực cho các ứng dụng yêu cầu kiểm soát dòng chảy ở nhiệt độ cao và / hoặc điều kiện giảm áp suất thấp cho đặc tính vật liệu nguồn.
Bộ điều khiển lưu lượng kế thừa kế thừa
Trong khi MKS tiếp tục tăng cường dòng sản phẩm Mass Flow Control của mình với các mô hình mới như trên, có nhiều mô hình bộ điều khiển lưu lượng lớn MKS đã cung cấp qua nhiều năm. MKS tiếp tục cung cấp và cung cấp hỗ trợ cho cơ sở khách hàng trung thành của mình cho các MFC này.
Tìm hiểu thêm về Bộ điều khiển lưu lượng kế thừa kế thừa tại đây