HA-MFV chính xác hơn và không nhạy cảm với khối lượng bên ngoài (từ MFC đến HA-MFV) và biến thể, cung cấp kết hợp chính xác hơn các phép đo giữa các thiết bị trên nhiều công cụ cho cùng một quy trình, đảm bảo kết hợp quy trình công cụ với công cụ chính xác .

Sơ đồ chức năng HA-MFV

Các tính năng và lợi ích:

• Độ chính xác đo lường 1,0% hoặc tốt hơn cho phù hợp với wafer-to-wafer, so sánh từng buồng và công cụ với công cụ
• Hỗ trợ nhiều bảng khí để giảm chi phí thực hiện
• 5 đến 3000 phạm vi đo lường sccm cho một loạt các quy trình
• Đánh giá tại chỗ về tốc độ dòng chảy của MFC cải thiện khả năng kiểm soát quá trình và tránh thời gian ngừng hoạt động không cần thiết

Các ứng dụng:

HA-MFV, Bộ kiểm tra lưu lượng chính xác cao được thiết kế để sử dụng trong các công cụ xử lý dựa trên khí đòi hỏi phải có sự kiểm tra nhanh chóng, chính xác của bộ điều khiển lưu lượng và đồng hồ đo lưu lượng.