Model |
3D VMM-6060C |
Khoảng di chuyển (mm) |
600 x 600 |
Kích thược máy X/Y/Z (mm) |
1500 x 1300 x 1510 |
Trọng lượng (kg) |
1300 |
Khoảng di chuyển trục Z |
80 mm |
Bộ phận hình ảnh kỹ thuật số |
Đo quang học tuyến tính và hiển thị trục XYZ ( 0.5 mm resolution) |
Độ chính xác trục X/Y |
(3 + L/200) um; L = chiều dài đo (đơn vị: nm) |
Bàn kiểm tra |
Granite/Passive Isolation Feet |
Hệ quang điện |
SWIM-MS model |
Khoảng đo chiều cao |
100 mm ( 400 mm, optional) |
Độ chính xác chiều cao 3D |
0.1 nm |
Khả năng lặp lại chiều cao 3D (σ) |
≦ 0.1 % ( Range: > 10 m m) |
≦ 10 nm ( Range:1 m m ~ 10 m m) |
≦ 5 nm ( Range: <1 m m ) |
Tốc độ scan 3D |
12 mm /s (Max.) |
Nguồn sáng |
Đèn LED |
Điều chỉnh cường độ sáng |
Thao tác tay / Auto |
CPU/ hệ điều hành |
Dual-core Intel CPU hoặc cao hơn / WindowsXP |
Màn hình/ Ổ cứng |
Two 17” LCD/ 200 GB hoặc cao hơn |
Nguồn điện |
AC110V /220V ;50Hz / 60Hz |
Môi trường |
VC-C class hoặc cao hơn |
Nhiệt độ/ độ ẩm |
20 ± 2 ℃; 55 ~ 65 % RH |
Yêu cầu về khí |
Áp suất: 0.4 Mpa; Lưu lượng: 120 L/min |
Phần mềm |
3D QIM 5008 / ImgScan / PostTopo |