Cảm biến đo lưu lượng 5100 Kofloc

Mã sản phẩm: 5100 |
Thương hiệu: Kofloc

Giá bán: Liên hệ

Model 5100 Series Mass Flow Controller/Meter features weldless structure, metal seals, accurac y of ≤±1%, re-sponse of ≤±1 second and other basic performance con-ditions required for semiconductor process control, and additionally, has achieved a significant price reduction.

Yêu Cầu Giá Tốt

Thông tin sản phẩm

Features

・ High accuracy and high response are achieved by the flow sen-sor with temperature-following current difference detection.
・ A normally-closed solenoid valve is employed.
・ A low leak rate is achieved by the weldless structure and metalseal.
・ The dead volume is reduced thanks to the diaphragm seat valve.
・ The face-to-face and body dimensions and the wiring tie-inpoints are designed to facilitate replacement of devices made by other companies. 


Standard Specifications

 
!!Note!! 
Specifications relating to the flow range (e.g., flow range, accuracy and response) are expressed in N2 or air equivalent. The product will be built with the primary pressure of 300 kPa or less and the secondary side open to the atmosphere. For details on the pressure requirements, please contact us.

SẢN PHẨM CÙNG DANH MỤC
Cảm biến đo lưu lượng 3810DSII Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng 5100 Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng 5400 Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng 3200 Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng 3660 Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng 8500 Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng D8500 Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng DF-550C Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng DF-350C Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng DF-300C Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng DF-250C Kofloc
Cảm biến đo lưu lượng DF-200C Kofloc